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TwisTorr / Turbo-V / Navigator 涡轮分子泵

安捷伦(前Varian/瓦瑞安)提供了抽速从 46 至 7500 升/秒的全系列涡轮分子泵，其中包括 Navigator 和 TwisTorr 两个产品线。安捷伦涡轮分子泵经过优化设计，可以在低压强内实现高压缩比，在大抽气量和高前级压强是实现最大的压差。该涡轮分子泵为无油、无污染型，可以以任意角度安装而不对材料施加应力，故障率低，其平均故障时间 (MTTF) 通常大于 250000 小时。该泵以安捷伦全球范围内优秀的应用和技术支持团队为后盾。涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体，并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的专用泵。

产品特点：

  • 功耗更低、性能更佳
  • 通过减少发热而节能，并提高可靠性
  • 为风冷而优化的冷却翅片
  • 通过降低工作温度进一步提高可靠性
  • 功率要求低，前级耐压高及可承受高气载
  • 可连接各种前级泵
  • 冷却方式灵活（风冷或水冷）
  • 先进的转子设计与 TwisTorr 技术相结合，可将泵级数减少 30%
  • 我们特有的整体型转子可减少材料应力并改善组装件容差
  • 电机缩短启动时间并在气体负荷变化情况下提高泵的稳定性
  • 洁净的免维护真空

turbo-v-850_twistorr_rack

技术参数：

Turbo-V81T Turbo-V81M TwisTorr-84FS TwisTorr-304FS Turbo-V551 Navigator Turbo-V701 Navigator Turbo-V750 TwisTorr Turbo-V850 TwisTorr Turbo-V1001 Navigator Turbo-V2300 TwisTorr Turbo-V1K-G Turbo-V2K-G
System		 Turbo-V3K-G
System
DN40 DN63 DN40 DN63 DN40 DN63 DN100 DN160 DN100 DN160 DN200 DN100 DN160 DN200 DN160 DN200 DN250 DN250 DN160 DN200 DN250 DN250
抽速, l/s 氮气 50 77 50 77 56 67 250 250 350 550 690 370 700 750 790 950 1050 2050 810 1080 1600 2200
氦气 56 65 56 65 46 63 255 255 450 600 620 500 680 690 820 870 900 1800 950 1150
氢气 46 50 46 50 40 53 220 220 450 510 510 470 580 590 860 900 920 1500 680 730
氩气 57 66 250 250 340 680 700 750 1040
压缩比 氮气 7×108 3×108 >1×1011 >1×1011 >1×109 1×109 1×1011 1×1011 1×109 >8×108 >5×107 3×105 >1×107
氦气 3×103 8×104 2.0×106 >1×108 1×107 1×107 2×108 2×108 1×107 8×105 >4×104
氢气 3×102 7×103 5.0×104 1.5×106 1×106 1×106 2.5×106 2.5×106 1×106 4×104 1.5×104
氩气 >1×1011 >1×1011 1×1011 1×1011 5×108
极限压强,mbar 5×10-9 5×10-10 <8×10-10 <1×10-10 <1×10-10 <1×10-10 <1×10-10 <1×10-10 <1×10-10 <1×10-10 <1×10-10 <1×10–8 <1×10–9
启动时间,min < 1 < 1 <2 < 3 <5 <5 <6 <3 <4 <6 <5 <7 <6
转速, rpm 80,000 80,000 81,000 60,000 42,000 42,000 50,000 50,000 38,000 33,300 45,660 33,000 31,800
进气口法兰 KF, mm 40 40 40
CF, mm 35 63 35 63 35 63 100 160 100 160 200 100 160 200 200 250
ISO, mm 63 63 63 100 160 160 200 160 200 160 200 250
ISO-F, mm 160-F 200-F 160 200 200-F 250-F 250-F 160-F 200-F 250-F 250-F
排气口法兰 KF NW16 NW16 NW16 NW16(NW25 optional) NW25 NW25 NW25 NW25
NW40		 NW40 NW40 NW25 NW40 NW40 NW40
SEM 版本 V V V V
電源控制器 Rack V V V V V V V V V V V
on board V V V V V V V V
Integrated electronics V V V V
PCB V V V

Turbo-V 2K-G 涡轮分子泵

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Turbo-V 2K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为等离子溅射工艺精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以工作在高流速的氩气氛围下和温度极高的环境中。此外，V-2K G的特点为控制器集成于泵内、一体化的放空和吹扫阀以及免维护的轴承。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 2K-G 成为镀膜工业的最佳分子泵解决方案。

特点：

  • 首款为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案
  • 目前性能最佳、最紧凑的装置。首个为最大限度提高系统生产率和正常运行时间而设计的完全集成化解决方案。
  • 将涡轮分子泵、驱动器件、电源、MoniTorr、吹扫气装置和通信装置集于一身
  • 通用电子器件接口和使用简单的控制软件模拟 I/O 信号和 RS232/RS485 接口为标准配置
  • 安捷伦 Profibus 接口（可选）

Navigator涡轮分子泵

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TwisTorr 涡轮分子泵

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